一. 潔凈實驗室定義

潔凈室主要作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

二. 潔凈實驗室標準規(guī)范

1.潔凈實驗室國內(nèi)標準規(guī)范

　?。?）潔凈廠房設計規(guī)范GB50073-2001

　?。?）醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范GB50333-2002

　　（3）醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范GB 50457-2008

　?。?）傳染病醫(yī)院建筑設計規(guī)范

　?。?）醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）懸浮粒子的測試方法GB/T16292-1996

　?。?）QS認證質(zhì)量手冊

　?。?）GMp藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范

2.潔凈實驗室國際標準規(guī)范ISO系列

　?。?）ISO14644-1空氣潔凈度等級劃分

　?。?）ISO14644-2為認證ISO14644-1的連續(xù)的相符性的測試和監(jiān)測技術(shù)要求

　?。?）ISO14644-3測試方法

　　（4）ISO14644-4設計建造啟動

　?。?）ISO14644-5運行(Operations)

　　（6）ISO14644-6術(shù)語和定義

　?。?）ISO14644-7分離裝置(潔凈空氣罩、手套箱、分離器和微循環(huán)設備

　?。?）ISO14644-8分子污染

（9）ISO14644-9潔凈化學品（液體）

三.潔凈室與潔凈環(huán)境：

RP-CC006潔凈實驗室測試

RP-CC012潔凈室設計要點

RP-CC016潔凈室非揮發(fā)性殘留物質(zhì)的沉積率

RP-CC018潔凈室管理運行與檢測程序

RP-CC022潔凈室與受控環(huán)境中的靜電

RP-CC023潔凈室中的微生物

RP-CC024微電子設備震動測量與說明

RP-CC026潔凈室運行

RP-CC027潔凈室與受控環(huán)境中人員與行為

RP-CC034高效與超高效過濾器過濾器檢漏

四.潔凈室設備：

RP-CC002單向流裝置

RP-CC013設備校準與檢驗程序

RP-CC015潔凈室實驗室生產(chǎn)設備與輔助設備

RP-CC034高效與超高效過濾器過濾器檢漏